CC 800®/9 MLT

Lässt nichts anbrennen

Sie brauchen hochwertige Beschichtungen für temperaturempfindliche Bauteile oder Umformwerkzeuge? Dann ist die CC 800®/9 MLT die passende Lösung: Speziell ausgelegt auf Niedertemperaturanwendungen ab 180°C, ermöglicht sie mit dem h.i.p. (high ionization pulsing)-Verfahren auch bei thermisch empfindlichen Werkstoffen sehr glatte und widerstandsfähige Beschichtungen.

Neben der Abscheidung von komplexen Schichtwerkstoffen, können auch Keramiken beschichtet und keramische Beschichtungen abgeschieden werden.

Wie alle CemeCon – Beschichtungsanlagen bleibt auch die CC800®/9 MLT durch ihren modularen Aufbau stets auf dem neusten Stand der Entwicklung. Der kompakte und gut zugängliche Aufbau der Anlage ist sehr wartungsfreundlich und aufgrund fertiger Prozessprogramme durch das Produktionspersonal einfach zu bedienen.


Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung als Anlagenbauer.
Unsere Kundenbetreuer beraten Sie gerne!


Leistungsdaten CC800®/9 MLT
Beschichtungskammer, (l x b x h) [mm] 850 x 850 x 1000
Zugänglichkeit   1 Fronttür, 2 Seitentüren
Beschichtungsraum, (Ø x h) [mm] 400 x 400
Maximale Substratabmessungen, (Ø x h) [mm] 450 x 850
Satelliten, (Ø x Anzahl Satelliten) [mm] 130 x 6
Beladung [kg] 250
Schnellwechselvorrichtung inkl. Parkstation   mechanisch
Sputterkathoden, Anzahl x Länge [mm] 4 x 500
Prozessverfahren   h.i.s.® / h.i.p.
Elektrisch leitende Schichten   ja
Elektrisch nicht leitende Schichten   ja
Kapazität Bohrer, (Ø6 x 80) mm [Stück] 1800
Kapazität WSP, (12,7 x 3,5) mm [Stück] 4900
Aussenabmessungen (l x b x h) [mm] 1010 x 3000 x 2100

 



Ihr Kontakt zu uns

 Tel: +49 2405 4470 100
 Fax: +49 2405 4470 399